PZ10-HS-DS質量流量計/控制器

產品簡介：

質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環境保護和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝 設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

工作原理：

PZ10-HS/DS 系列氣體質量流量控制器較好的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的降溫效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。